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진공용오링

진공용 오링의 설계
진공용 오링재질의 필요조건 | MATERIAL REQUIREMENTS :
  • Low gas permeability - 오링의 재질과 기체의 종류에 따라 투과율(Permeability)
    이 다르며, 온도가 높을수록 투과율이 증가한다.
  • Low outgassing, Low extractable contaminants - 진공하에서는 고무오링
    속에 포함 되어있는 여러 휘발성 성분들이 Gas 혹은 Vapor 상태로 빠져 나온다
    (Outgassing). 부피가 줄어들면서 이로 인해 오링의 중량 감소 (Weight loss)와 함께
    진공도가 점차적으로 떨어진다.

    이런 현상은 고진공 일수록 그리고 온도가 높아 질수록 가속화 된다.그리고 Outgassing에 의해 빠져나온 성분은 주변에
    침착되어 오염을 일으킬 수 있기 때문에 특히 반도체와 같이 오염에 민감하고 고청정 (High purity)을 요하는 장비인 경우
    에는 Outgassing과 침출에 의한 오염물 (extractable contaminants)을 최소화한 재질을 사용 해야 합니다.

  • Low compression set - 고진공 일수록 그리고 온도가 높을수록 영구압축 줄음률이 크고 그만큼 오링의 내구 수명이
    단축되기 때문에 압축영구줄음률이 낮은 재질을 사용하고 가능한 오링두께(CS)을 크게 하는 것이 좋읍니다.
진공용 오링설계 | VACUUM SEALING DESIGN :
준비중입니다. 요청하시면 바로 보내드리겠읍니다.
  • 일반적인 설계보다 Squeeze % (압축률)와 Gland Fill (%)을
    가능한 크게 하되 고온 환경일 경우 반드시 열팽창율
    (Volume expansion)을 고려 하여 설계해야 됩니다.
  • 진공그리스 (Vacuum grease) 사용 : 아래 그래프에서 보듯이
    낮은 압축률(Squeeze %)에서도 진공그리스를 도포할 경우
    Leak Rate가 현저하게 낮아진다. Dovetail Groove, Radial
    sealing, Dynamic sealing과 같이 설계나 조립성의 이유로
    압축률을 크게 할수 없는 Vacuum sealing인 경우는 가능하다면 진공그리스를 활용하는 것이 좋읍니다.
Surface Finishing : Ra 0.8µm(TEO Seals, SE Seals, Metal Seal 0.4µm), "Circular lay" Finishing
( 매우 중요, 별도 페이지 Surface Finishing자료 참조)
사용하시려는 오링의 용도가 다음 형식중에서 어느 것에 해당되는지요?